模糊ＰＩＤ控制在纳米微动台系统中的应用

摘　　　要：针对在纳米级运动控制中，传统ＰＩＤ算法的参数配置在抑制系统运动超调、提高系统定位精度，以及保障系统稳定性等方面存在矛盾的问题，提出了将模糊自适应ＰＩＤ控制器应用于该系统的方案。并基于大量工程整定实验，给出了针对纳米量级控制特点的模糊集设置和模糊整定规则，选取了合理的ＰＩＤ参数论域取值。实验结果表明，所设计的模糊控制器通过动态调整ＰＩＤ参数的增量，有效改善了微动台系统的动态性能，降低了动态响应的超调，且保证了在一定扰动下系统小于±１０ｎｍ的定位精...