先进MEMS技术挑战极端环境应用

——ADI微机械产品线高级应用工程师赵延辉详解iMEMS双轴加速度计

Analog Devices, Inc.（ADI）较近正式推出高精度、低功耗、提供信号调理的模拟电压输出的双轴iMEMS^®加速度计ADXL206。ADI微机械产品线高级应用工程师赵延辉向媒体详细介绍了iMEMS双轴加速度计单芯片ADXL206的特点及其应用领域。

赵延辉介绍说，ADXL206的满量程加速度测量范围为±5 g，既能测量振动等动态加速度，也能测量重力等静态加速度。保证的工作温度范围为-40°C至+175°C，具有出色的整体稳定性，非常适合用于地质钻探工具和其它极端高温工业应用。ADI公司的MEMS惯性传感器代表了高性能，可以满足各种应用的一项或多项需求，而不只是关注基本运动检测或新颖的功能，如至关重要的系统性能参数；增强安全或可靠性；高精度测量和诊断；极端工作环境。新器件具备在各种冲击、振动和高温等极端条件下，保持灵敏度、噪声和零点精度等关键特性的能力；提供极具价值且至关重要的系统性能改进，从而实现提高效率、减少系统停机时间及其它可观的好处。

ADXL206 iMEMS加速度适用于极端环境应用

他表示：“我们没有使用额外的温度补偿电路，而是采用创新的设计技术来确保从内部实现高性能。因此，它基本上不存在量化误差或其它非单调性，温度迟滞非常低，在−40°C至+175°C的整个温度范围内通常小于2 mg。这款产品再次彰显了ADI公司在高性能MEMS惯性传感器领域的领导地位。”

他说：“一方面，设计师结合各种智能钻探系统，以力求不断深入地表，另一方面，又不得不在功耗、尺寸和空间要求与获得更多信息之间作出权衡。ADXL206 iMEMS加速度计不仅是一款极为紧凑的解决方案，而且大幅降低了功耗，单轴功耗从10 mA以上降至0.5 mA以下。”

ADXL206 iMEMS加速度计的典型噪底为110 μg/√Hz，因而在倾斜检测应用中，可以利用窄带宽(<60 Hz）解析1 mg（0.06°倾角）以下的信号。根据应用需要，可以选择0.5 Hz至2.5 kHz范围内的带宽。ADXL206提供13 mm × 8 mm × 2 mm、8引脚侧面钎焊陶瓷双列直插式封装(SBDIP）。

ADXL206 iMEMS加速度计主要特性包括：温度范围：–40°C至+175°C；分辨率：1 mg (60 Hz）；低功耗：700 µA（VS = 5 V，典型值）；高零g偏移可重复性；高灵敏度精度；抗冲击能力：3500 g。

ADI公司的核心优势

ADI公司之所以能够推出这种满足极端环境要求的器件，完全依赖于其20余年MEMS和高性能信号处理的集成经验、40余年的信号处理经验，以及20余年的成熟MEMS经验。为了从MEMS内核获得更高的性能，其传感器与信号处理结合在一起。这正是ADI公司的核心优势。

更多信息：

• 下载数据手册和查看产品页面： http://www.analog.com/zh/pr0523/adxl206    
• 申请样片： http://www.analog.com/zh/pr0523/adxl206 
• 了解有关iMEMS低g加速度计的更多信息： http://www.analog.com/zh/pr0523/lowg   
• 查找ADI公司关于iMEMS惯性传感器的应用笔记和技术文章： http://www.analog.com/zh/pr0523/mems
• 观看产品视频：http://www.tudou.com/programs/view/OjKzviVpA8A/

www.analog.com/zh/index.html

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