Tegal收到DRIE设备订单 用于功率器件及MEMS传感器制程

Tegal Corporation日前宣布收到一笔关于4200SE先进多腔体ICP等离子体刻蚀设备订单，用于功率器件及MEMS传感器制造过程中的深反应离子刻蚀（Deep Reactive Ion Etching ）应用。

Tegal总裁兼CEO Thomas Mika表示，Tegal非常高兴收到此笔订单。客户之所以选择了Tegal，是因为多年来Tegal在功率器件及MEMS传感器制造方面享有盛誉，Tegal目前战略是专注于DRIE设备市场。当客户在选择DRIE设备时，不仅要考虑到DRIE技术领导力，还要考量其设备供应商在客户支持方面的声誉。Tegal的理念是要把单腔与集群式DRIE设备做到业界较好。

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