赛斯纯气体公司宣布通过一家顶尖的光刻设备制造商对微污染物检验服务的认证

赛斯纯气体有限公司作为一家气体净化技术设备的世界领导者和供应商日前宣布, 较新引入的微污染物检验分析服务和CollectTorr取样系统已经正式通过由一家著名的光刻设备制造商进行的认证。

赛斯公司开发的CollectTorr取样系统和离线分析服务能够向尖端光刻和检验/测量设备的较终客户提供一种简单、专用和可靠的分析工具, 对光学系统的分子污染物的吹扫气体进行验证。基于固态捕获器的CollectTorr取样系统与赛斯纯气体公司的尖端分析设备相结合，能够评估pptV水平的分子酸、碱、难熔和有机污染物的含量。

现场取样部件的平均安装时间约为10分钟，而采集和取样时间则取决于所需的灵敏度，约为4至72小时。赛斯纯气体公司的实验室在收到取样系统之日算起的五个工作日内，能够向客户提供一份用户友好的分析验证报告。赛斯纯气体公司的分析取样、检测分析和验证符合光刻设备的光学系统质保验证，并且能够根据客户要求包括污染物根源分析。

CollectTorr取样系统的客户应用包括以下一个或者多个方面:HPCDA或氮气净化前后的分子污染物水平评估，气体管路和部件的放气调查，洁净厂房分子污染物评估，以及用于光学系统和镜头质保的光刻和检验/测量设备制造商的吹扫气体验证。